以文本方式查看主题 - 声学楼论坛 (http://www.nju520.com/bbs/index.asp) -- 行业动态室 (http://www.nju520.com/bbs/list.asp?boardid=3) ---- 敏芯微电子成功研发面向微硅传感器制程SENSA工艺 (http://www.nju520.com/bbs/dispbbs.asp?boardid=3&id=20689) |
-- 作者:水仙 -- 发布时间:2011-5-20 21:56:18 -- 敏芯微电子成功研发面向微硅传感器制程SENSA工艺 日前,苏州敏芯微电子成功研发面向 MEMS 微硅传感器制程的 SENSA 工艺。敏芯目前已经将此工艺应用于公司生产的微硅压力传感芯片 MSP 系列产品中。此项关键核心技术的突破,将为国内以至全球的微硅压力传感器行业带来深刻变革。传感芯片的尺寸、精度、可靠性、可加工性以及成本,将由于 SENSA工艺的引入而产生质的飞跃。可以预计,基于此新型工艺芯片的压力传感器产品,将会以更轻、更薄、更灵敏、更可靠的方式获得海量应用,包括智能手机、运动型手表、个人导航设备、便携式气象站,以及汽车和工业应用等。 |
-- 作者:kavin -- 发布时间:2011-5-30 10:56:59 -- [讨论][求助] 希望咱们国人的企业能尽快的在MEMS传感产品方面有自己的主导地方,不再完全被牵制于老外! |