随着我国汽车电子、新型数字消费电子和医疗电子等产业的快速发展，对MEMS传感器的各种新需求和基于该技术的创新不断涌现，为此专业科技市场分析机构北京华兴万邦管理咨询有限公司走访了总部位于欧洲芬兰的老牌微机电系统(MEMS)传感器制造商VTI科技(VTI Technologies)。该公司高管告诉分析师：随着各种新的应用不断出现，以及MEMS器件厂商的技术创新，MEMS传感器产业将迎来一轮新的机会。
   
VTI科技是一家在MEMS传感器领域内拥有成熟的产品开发和生产制造经验的企业，在赫尔辛基近郊的总部拥有一座带有2840平米洁净室的晶圆处理及封装工厂。各种新应用以及相关新产品的开发是该公司目前关注的重点，同时高度重视中国等新兴市场的应用开发，其亚洲总部设在中国北京。
   
作为一家拥有20多年MEMS行业经验、年出货量达3000多万个传感器的全球最大的独立MEMS厂商之一，VTI科技的核心产品是三维微机电系统传感器(3D MEMS)。该传感器由带有金属电容板的底座、带有运动感应结构的中间层和顶盖三个不同的硅层用玻璃粘合在一起组成，每层都有金属薄膜形成电极而成为电容式传感器。
   
VTI的3D MEMS传感器可以在三个正交的方向上检测到加速度，而由此封装完成的小型化传感器可以方便地进行贴装和安装。同时VTI的专有技术确保了传感器的精确性、小型化、低功耗和稳定可靠。运用这种传感器，VTI生产出了加速度计、倾角仪、陀螺仪和压力传感器等系列产品。
   
从VTI的3D MEMS传感器的技术应用方向来看，加速度计主要应用在需要灵敏检测运动状态，从而实现高安全性和控制的汽车及工业应用；倾角仪则广泛应用于需要精确测量运动场景，如运动的机械、车辆、飞机、建筑设备和掌上系统等；陀螺仪则可以单独或者与加速度计共同使用，广泛应用于从消费电子到专用设备的各种市场；压力元件则用于医疗设备等应用之中。
   
“作为一家MEMS传感器先锋厂商，VTI的产品广泛应用于消费电子、医疗设备、汽车电子和其他各种应用之中，提升了应用产品的安全性、功能性和和效率。”VTI科技总裁兼首席执行官Markku Hirvonen对华兴万邦分析师说。“在2010年，我们每一项业务都实现了快速的恢复，来自汽车行业的需求尤为强劲。这表明MEMS传感器正在进入一个新的发展阶段。”
   
多样化应用带动MEMS市场发展
   
MEMS器件最早的批量实际应用源于汽车电子产业，但随着近年来消费电子领域的创新不断涌现，消费电子已经成为MEMS最大的应用市场，市场规模超过了15亿美元，并以每年近20%的速度增长。
作为MEMS传感器的第二波应用高潮，MEMS传感器在消费电子中的应用包括运动/坠落检测、导航数据补偿、游戏/人机界面、电源管理、GPS增强/盲区消除、速度/距离计数、其他体育和保健应用等等。其中陀螺仪是增长最快的部分，已经成为加速度计后的第二大应用产品。
   
VTI在消费电子领域有着完善的MEMS解决方案，其相关产品包括应用于便携电子产品的加速度计和陀螺仪，以及正在开发的MEMS振荡器等。该公司的产品以小尺寸、低功耗和高精度为开发重点，近期推出了基于其3D MEMS传感器的3轴陀螺仪CMR3000。
   
“便携消费电子市场是VTI高度重视的一个应用市场，我们在全球市场上积极响应需求开发各种新的产品，如具有绝佳温度稳定性的、业界体积最小和功耗最低的CMR3000用户界面陀螺仪，以及即将推出的基于其3D MEMS和芯片技术的SiMEMS时钟产生振荡器。”VTI消费电子业务副总裁Sten Stockmann说。
   
医疗保健被称为MEMS的第三波应用，同时也被MEMS行业称为高价值市场。随着人口老龄化和医疗保健费用的提升，各种远距离监护和高精度治疗设备将越来越多地被引入。VTI是医疗保健MEMS技术的领先供应商，每分钟全球就有一台带有VTI传感器的起搏器安装在患者的体内；该公司期望与更多的系统厂家合作采用其MEMS传感器研发出多样化的医疗保健设备。