主题：镀膜工艺的讨论

大家都来讨论一下镀膜的工艺吧，所做膜片有部分出现镀层开裂的现象，不知谁能解释一下都有哪些因素会影响到镀层的状态？

镀的什么，多厚

楼主，你镀的是什么膜？镀的金属层是什么？镀层厚度是多少？用什么镀膜工艺？

镀的膜有FEP的、还有PET的。是镀镍的。厚度无条件测量，不过有阻抗要求，阻抗在300±100Ω。用的是真空磁控溅射，侧面溅射，中间用工件架装好40盘，转动进行镀镍。

楼主说的镀层开裂的现象，应该主要集中在镀FEP膜上吧，这是由磁控溅射方式与镀的膜片有关。影响镀层质量的因素有：真空度、膜片表面状态、金属纯度、真空系统洁净度等等，这是多种因素综合的结果。

是的，那不知真空度抽至多少以下为好？膜片表面状态，是说膜本身还是说膜表面粘附的杂物？真空系统洁净度又是怎么个说法呢？那应该的金属纯度又要达到多少以上呢？盼解答，谢谢。

1 、镀膜时真空度越低越好，但这样会影响效率，这涉及空气分子的自由程问题了，因为在镀膜时，空气分子较多的话，会影响镀层质量：降低金属分子与膜片的附着力；会产生金属氧化物；镀层会产生杂质等；你可以根据镀膜室的面积计算所需的真空度；

2、膜片表面若粘有杂质，会影响镀层质量，膜片的表面状态，这还涉及膜片表面张力的问题；

3、你现在用的应该是油真空抽气系统，这就有可能出现返油现象，影响镀层质量；

4、金属纯度会影响镀层的质量。

   以上观点，只是个人意见，仅供参考。

哦，谢谢您的解答。

1、我这镀膜是在充氩气的环境下进行的。充氩气前的本底真空度已达到3.5*10-3；

2、膜片的表面张力多少为好？

3、返油现象如何判定？

4、在此再问一下，杜邦的FEP膜与东丽的FEP膜有何质量上面的不同？

东丽的要比杜邦的外观视觉上好一些

如果扩散泵的油出现氧化（最终镀膜时的真空度与未氧化前一样），除了会影响系统的抽真空速度外，对镀层的质量有没有影响？