[讨论][求助]最基本的MEMS麦克风有几个引脚 - 传声器设计与应用室 - 声学楼论坛

§国内主要有专利10项

1)CN02823045.0 硅麦克风(楼氏电子有限公司)

2)CN200410033638.1 微硅麦克风及其制备方法(北京大学)

3)CN200480018356.2 硅麦克风的制造(森斯费伯私人有限公司,新加坡)

4)CN200520084434.0 抗干扰性能强的硅麦克风(潍坊怡力达电声有限公司)

5)CN200520084435.5 长声道硅麦克风(潍坊怡力达电声有限公司)

6)CN200410098803.1 可实现声源定向的硅微麦克风组合体(清华大学)

7)CN00105555.0 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法(清华大学)

8)CN00231331.6 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构(清华大学)

9)CN200510026626.0 单片硅基微型电容式麦克风及其制作方法(复旦大学;深圳豪恩电声科技有限公司;同济大学)

10)CN200410100283.3 可降低振动膜应力的硅晶凝缩式麦克风结构(美律实业股份有限公司)

11)CN200410042170.2 电容式硅基微麦克风及其制法(美律实业股份有限公司)

12)CN200410100284.8 硅晶微麦克风的制作方法(美律实业股份有限公司)

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