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主题：[讨论][求助]最基本的MEMS麦克风有几个引脚
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§国内主要有专利10项
1)CN02823045.0 硅麦克风(楼氏电子有限公司)
2)CN200410033638.1 微硅麦克风及其制备方法(北京大学)
3)CN200480018356.2 硅麦克风的制造(森斯费伯私人有限公司,新加坡)
4)CN200520084434.0 抗干扰性能强的硅麦克风(潍坊怡力达电声有限公司)
5)CN200520084435.5 长声道硅麦克风(潍坊怡力达电声有限公司)
6)CN200410098803.1 可实现声源定向的硅微麦克风组合体(清华大学)
7)CN00105555.0 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法(清华大学)
8)CN00231331.6 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构(清华大学)
9)CN200510026626.0 单片硅基微型电容式麦克风及其制作方法(复旦大学;深圳豪恩电声科技有限公司;同济大学)
10)CN200410100283.3 可降低振动膜应力的硅晶凝缩式麦克风结构(美律实业股份有限公司)
11)CN200410042170.2 电容式硅基微麦克风及其制法(美律实业股份有限公司)
12)CN200410100284.8 硅晶微麦克风的制作方法(美律实业股份有限公司)


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没有ASIC等元件的是MEMS SENSOR, 只有两个端口, 信号输出和极化电压, (如上图所示意).一般需要"打线机"和"固晶机"等设备,当然,贴片机也是需要的.


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给一个仿真图参考看看,里面没带FET部分.

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是灵敏度曲线。


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只做电路仿真？后面就是电子部分。（接近于一个电容并一个大电阻）


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简单的,可以用你的示意图.

 

MEMS偏压是比较高(但超过一定电压也会吸膜), 仿真图上没显示, 计算灵敏度时需要用到. 2V仅是FET的偏压.

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