声学楼论坛技术交流区电声器件与系统设计传声器设计与应用室 → [讨论][求助]最基本的MEMS麦克风有几个引脚


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主题:[讨论][求助]最基本的MEMS麦克风有几个引脚

帅哥哟,离线,有人找我吗?
shitbeckham02
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  发帖心情 Post By:2010-12-15 23:33:36 [显示全部帖子]

     当声阻控制至一定程度时,如水仙在20L的仿真图所示,在高频时可以不出现峰值。但若控制不好,很容易使得截止频率出现在过低的频率点(如3kHz)。              同样相反地,在高频出现峰值的情况下,有可能很早就出现频响曲线上翘。那此种情况下(上翘),若膜片声顺、声质量等参数已固定为一值,有什么办法可以使得上翘点尽量往高频移?(此点暂时定义为相对于1K时上翘3dB)
      也就是说如何能通过控制MEMS的各个参数,来使得频响曲线在尽可能大的一个频率范围内保持平整?(不管在高频处有没出现峰,目标就是只要曲线尽量平整就好)这个还没有细致的推算过,不知道水仙有没有从您自己的类比线路图中考虑过这样的一个问题。
     

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shitbeckham02
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  发帖心情 Post By:2010-12-16 19:58:25 [显示全部帖子]

      比较感兴趣的是35L的仿真。两曲线先可看作灵敏度是一致的(1kHz),如果我理解没错,这就说明了二者的膜片声顺及腔体部分应该是同一结构,同一参数。考虑成IC放大一致下,剩下的可以改变的应该就是进声孔的相关参数。
      按照水仙之前的说法,阻尼改变,对高频峰值出现否、大小、及位置也都有改变。对于MEMS各参数小尺寸的情况下,此时阻尼的类比计算是否应该按照马大猷先生所提出的微孔经验公式?
      不知道我上面对推断是否正确,也烦请水仙能再稍作解释说明一下该图两条仿真曲线中,您实际上是改变了MEMS的哪部分参数的?因为从绿色仿真曲线来看,它的曲线形状已经是非常理想的了。

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shitbeckham02
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  发帖心情 Post By:2010-12-16 19:59:30 [显示全部帖子]

还有感谢你先前的仿真,正好可以看看学习一下IC放大部分的工作。

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