声学楼论坛技术交流区电声器件与系统设计传声器设计与应用室 → [讨论][求助]最基本的MEMS麦克风有几个引脚


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主题:[讨论][求助]最基本的MEMS麦克风有几个引脚

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  发帖心情 Post By:2010-12-15 10:02:07 [只看该作者]

声阻尼大小不同,决定了高频有没峰.

当然,峰的位置(前后)主要是由振膜的顺性决定.



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  发帖心情 Post By:2010-12-15 10:04:52 [只看该作者]

以下是引用水仙在2010-12-14 12:44:53的发言:


图片点击可在新窗口打开查看此主题相关图片如下:mems mic3.jpg
图片点击可在新窗口打开查看

给一个仿真图参考看看,里面没带FET部分.

 

这里标Ceo的电容就是等效开路电容.F1,F2的转换系数跟偏压Eo大小有关(可以计算的)

[此贴子已经被作者于2010-12-15 10:05:54编辑过]


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  发帖心情 Post By:2010-12-15 17:08:27 [只看该作者]

以下是引用水仙在2010-12-15 09:50:44的发言:

简单的,可以用你的示意图.

 

MEMS偏压是比较高(但超过一定电压也会吸膜), 仿真图上没显示, 计算灵敏度时需要用到. 2V仅是FET的偏压.

可以用我这个示意图,你的意思是基本的MEMS麦克风在使用时可以一端接偏压,另一端(信号输出端)FET是吧~~


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  发帖心情 Post By:2010-12-15 17:13:10 [只看该作者]

以下是引用水仙在2010-12-15 09:54:55的发言:
大电阻与一个电容并联,且一端接地, 才有等效漏电流, 也才有高频截止频率.

图片点击可在新窗口打开查看

一端需要接地,才会有等效漏电流,所以,其这样接是不存在这个等效大电阻的对吧。

 

[此贴子已经被作者于2010-12-18 19:45:37编辑过]

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  发帖心情 Post By:2010-12-15 17:17:47 [只看该作者]

图片点击可在新窗口打开查看

从你这上没有经过FET放大的图来看,是1P的声压,在你这个设计的MEMS麦克风只产生了2个mV的电压信号吗?


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  发帖心情 Post By:2010-12-15 17:25:46 [只看该作者]

以下是引用水仙在2010-12-15 10:04:52的发言:

 

这里标Ceo的电容就是等效开路电容.F1,F2的转换系数跟偏压Eo大小有关(可以计算的)

[此贴子已经被作者于2010-12-15 10:05:54编辑过]

等效开路电容是指麦克风没加偏压的电容是吧,也就是加上偏压后,振膜与背极板的电容会增大?


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  发帖心情 Post By:2010-12-15 18:08:55 [只看该作者]

静态开路电容不会变化(若不考虑振膜间隙变化的话).

 

仔细考虑,实际上会有变化. 有资料或实验介绍说偏压到15V以上就可能吸膜(MEMS的间隙很小).

 

手头有其它公司的SENSOR芯片, 没在显微镜下看, 芯片底面是需要直接固定在PCB基板上的(有公共地),另外要用两根金丝线引出,分别为偏压端和输出端.



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  发帖心情 Post By:2010-12-15 22:59:28 [只看该作者]

是的,MEMS电容传声器要有一面贴在PCB版。 


图片点击可在新窗口打开查看此主题相关图片如下:6.jpg
图片点击可在新窗口打开查看

从这个图来看,上下极版各引一电极,好像只有两个端一样?

等效的电容和一大电阻的并联,这个电容和大电阻变动范围是多少呢?

[此贴子已经被作者于2010-12-18 19:48:16编辑过]

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  发帖心情 Post By:2010-12-15 23:02:47 [只看该作者]

以下是引用水仙在2010-12-15 09:59:32的发言:


图片点击可在新窗口打开查看此主题相关图片如下:mic 2.jpg
图片点击可在新窗口打开查看

1P的声压没经过FET放大的输出信号仅为2mV,那我们普通的打电话的声压没经过FET放大能产生多大的电压信号呢?


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shitbeckham02
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  发帖心情 Post By:2010-12-15 23:33:36 [只看该作者]

     当声阻控制至一定程度时,如水仙在20L的仿真图所示,在高频时可以不出现峰值。但若控制不好,很容易使得截止频率出现在过低的频率点(如3kHz)。              同样相反地,在高频出现峰值的情况下,有可能很早就出现频响曲线上翘。那此种情况下(上翘),若膜片声顺、声质量等参数已固定为一值,有什么办法可以使得上翘点尽量往高频移?(此点暂时定义为相对于1K时上翘3dB)
      也就是说如何能通过控制MEMS的各个参数,来使得频响曲线在尽可能大的一个频率范围内保持平整?(不管在高频处有没出现峰,目标就是只要曲线尽量平整就好)这个还没有细致的推算过,不知道水仙有没有从您自己的类比线路图中考虑过这样的一个问题。
     

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