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主题：[讨论][求助]最基本的MEMS麦克风有几个引脚
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通过仿真是很容易和快速看出各种结果的.

 

难的是控制或测量基本的参数.

 

MEMS SENSOR由于面积小, 不经过放大电路时, 开路灵敏度是很低的.

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高频的变化


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大家可能习惯看这种原理图, 但需要注意的是声学部分和机械部分的连接方式, 是导纳型类比(不是阻抗型的).

[此贴子已经被作者于2010-12-16 12:24:04编辑过]

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这里三部分(电子,机械,声学)都是"阻抗型"类比, 因而话筒开路等效电容Ceo是并联接地的,泄漏电阻R'也是并联接地.

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      比较感兴趣的是35L的仿真。两曲线先可看作灵敏度是一致的（1kHz）,如果我理解没错，这就说明了二者的膜片声顺及腔体部分应该是同一结构，同一参数。考虑成IC放大一致下，剩下的可以改变的应该就是进声孔的相关参数。
      按照水仙之前的说法，阻尼改变，对高频峰值出现否、大小、及位置也都有改变。对于MEMS各参数小尺寸的情况下，此时阻尼的类比计算是否应该按照马大猷先生所提出的微孔经验公式？
      不知道我上面对推断是否正确，也烦请水仙能再稍作解释说明一下该图两条仿真曲线中，您实际上是改变了MEMS的哪部分参数的？因为从绿色仿真曲线来看，它的曲线形状已经是非常理想的了。
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还有感谢你先前的仿真，正好可以看看学习一下IC放大部分的工作。

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